cemox


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La Centrale d'Elaboration et de Métrologie des Optiques XUV (CEMOX) est une plateforme de la fédération Lumière-Matière (LUMAT).

Créée en 2002 à l'initiative du Pôle d'Optique des Rayons X d'Orsay (PRaXO), CEMOX comprend une machine de dépôt par pulvérisation cathodique magnétron pour l'éloboration d'optiques multicouches et un réflectomètre XUV à source plasma laser pour la métrologie associée.

CEMOX en quelques chiffres

- de nombreux utilisateurs : Xenocs, SAGEM, MecaConcept, Winlight X, Station LaseriX,
ISMO, LOA, IAS, LCPMR, CEA Saclay, CEA Bruyère...
- l'accueil d’utilisateurs extérieurs (5 dont 2 étudiants étrangers)
- des Travaux Pratiques (Master 2 + 3A IOGS) : 10 demi-journées/an
- 4 thèses soutenues (+ 1 en cours)
- 4 projets RTRA Triangle de la physique, 3 projets ANR blanc
- plus de 200 demi-journées de métrologie EUV facturées depuis 2005

 

 

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